DTN洁净厌氧高温气氛炉
DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉，洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等
- 产品描述
- 应用
-
产品特性
● 最高工作温度360℃和500℃
● 采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤
● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低
● 磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响
● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节
● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收
● 门检测开关
● 温度过升防止器
● 氧浓度异常安全装置
● 氮气压力检测
● 氮气流量检测
● 冷却水流量检测
● 漏水传感器
● 过电流漏电漏电保护开关
关键词：
留言咨询
