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参数
PR210C/300/301等离子灰化机
PR210C/300/301
高频输出：PR200：200W；PR300/301：300W 反应腔：PR210C：Φ100×L160mm ；PR300：Φ64×L160mm×3室；PR301：Φ118×L160mm
从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。
用途：
- 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）。
- 同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH 2等官能基。
- 硅晶圆蚀刻。
- 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
- 石棉预处理（膜过滤灰化）。
- 从电子设备到生化市场。
- 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
- 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
- 表面有机物去除。
特点：
- RF为200 W的高性能输出类型（PR210C）。
- 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
- 同步，自动调谐，操作简单（PR210C）。
- 等离子体反应器（灰化设备）（PR210C）。
- 同步、自动调谐（PR210C）。
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发布时间：2021-04-14 16:14:24
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发布时间：2021-02-24 15:48:33
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