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PR210C/300/301等离子灰化机
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PR210C/300/301等离子灰化机

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。
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参数

PR210C/300/301等离子灰化机

PR210C/300/301  

高频输出:PR200:200W;PR300/301:300W       反应腔:PR210C:Φ100×L160mm ;PR300:Φ64×L160mm×3室;PR301:Φ118×L160mm

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。  


用途:

  • 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影响)。
  • 同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH 2等官能基。
  • 硅晶圆蚀刻。
  • 材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
  • 石棉预处理(膜过滤灰化)。
  • 从电子设备到生化市场。
  • 低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
  • 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
  • 表面有机物去除。

特点:

  • RF为200 W的高性能输出类型(PR210C)。
  • 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
  • 同步,自动调谐,操作简单(PR210C)。
  • 等离子体反应器(灰化设备)(PR210C)。
  • 同步、自动调谐(PR210C)。

 

 

 

 

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发布时间:2021-04-14 16:14:24

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发布时间:2021-02-24 15:48:33

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