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PR500/510等离子灰化机
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PR500/510等离子灰化机

PR500/510   高频输出 50~500W       反应腔 Φ215×305mm   低温等离子·经典桶型。   PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制 低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
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参数

PR500/510等离子灰化机

PR500/510  

高频输出 50~500W       反应腔 Φ215×305mm  

低温等离子·经典桶型。  
 

PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

用途  

● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆,玻璃基板对应  

特征  

● 大口径(Φ215mm)石英反应腔
● 小型一体化设计
● 操作简单的触摸屏方式(PR510型)  


 

 

 

 

 

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发布时间:2021-04-14 16:14:24

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发布时间:2021-02-24 15:48:33

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