V等离子清洗机
V1000/1000X/1000XS等离子清洗机，13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式
- 产品描述
- 应用
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产品特性
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除
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